بوتقات نيتريد البورون نيتريد الشعاع الإلكتروني

نظرة عامة على بطانات البوتقة وأفضل ممارسات التبخير بالحزمة الإلكترونية

تلعب بطانات البوتقة دورًا محوريًا في التبخير بالحزمة الإلكترونية، مما يؤثر بشكل مباشر على ترسيب المواد وكفاءة العملية. تقدم MetalsTek مجموعة من بطانات البوتقة بأحجام مخصصة متاحة لتناسب الاحتياجات التشغيلية المتنوعة.

البوتقات العازلة: لماذا هي ليست مثالية

البوتقات العازلة للكهرباء غير مناسبة بشكل عام للتبخير بالحزمة الإلكترونية بسبب عدم قدرتها على إدارة تدفق الإلكترونات أثناء العملية.

تراكم الإلكترونات:
عندما تقصف الإلكترونات المادة في بطانة البوتقة العازلة، لا يمكنها التفريغ إلى الأرض. يتسبب ذلك في تراكم الشحنات على المادة.
- انحراف الشعاع: عندما تتراكم الشحنة، تبدأ الشحنة في انحراف الشعاع الإلكتروني، مما يؤدي إلى تعطيل الترسيب.
- التوصية: تنصح MetalsTek باستخدام بطانات بوتقة موصلة للكهرباء لجميع ترسيبات المعادن. تمكّن البطانات الموصلة الإلكترونات من التدفق بسلاسة عبر المادة إلى بطانة البوتقة وأخيرًا إلى الموقد، مما يمنع انحراف الحزمة ويضمن عملية مستقرة.

الأسباب الشائعة لانكسار البوتقة

تعد المعالجة السليمة وإعدادات المعلمات ضرورية لمنع تلف البوتقة أثناء التبخير بالحزمة الإلكترونية. هناك سببان شائعان للكسر هما إعدادات المنحدر/النقع غير الصحيحة وإيقاف تشغيل الطاقة المفاجئ.

1. سوء إدارة إعدادات المنحدر/النقع

عادةً ما تتضمن عمليات التبخير بالحزمة الإلكترونية مستويين من الطاقة المنحدرة/النقع لتسخين المواد تدريجيًا إلى درجة حرارة الترسيب. ويمكن أن تؤدي الأخطاء في هذه الإعدادات إلى مشاكل كبيرة:

الانتقال إلى التحكم في PID: بمجرد وصول المادة إلى درجة حرارة الترسيب، ينتقل التحكم في الطاقة من مستويات المنحدر/النقع إلى حلقة PID. تدير هذه الحلقة مصدر طاقة البندقية الإلكترونية ووحدة التحكم في بلورة الكوارتز للحفاظ على معدل الترسيب المطلوب.
- تذبذبات الطاقة غير المستقرة: إذا كانت إعدادات المنحدر2/النقع2 بعيدة عن مستوى الطاقة المطلوب للترسيب (على سبيل المثال، 1 Ångström/ثانية)، فإن حلقة PID تكافح من أجل الاستقرار. يمكن أن تحدث تأرجحات جامحة في الطاقة (+90% إلى 0%)، مما يؤدي إلى تسييل وتكثيف المادة بسرعة، مما يضغط على البوتقة ويسبب تشققات.
- الحل: تأكد من أن مستويات المنحدر2/النقع2 قريبة قدر الإمكان من الطاقة اللازمة لمعدل الترسيب المطلوب. وهذا يقلل من تعديلات حلقة PID، مما يقلل من مخاطر التغيرات الطورية السريعة.

2. انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ

يعد التعامل غير السليم مع مصدر الطاقة بعد الترسيب سببًا شائعًا آخر لتلف البوتقة:

إجهاد التبريد السريع: يؤدي إيقاف تشغيل مصدر الطاقة فجأة أو استخدام فترة خفض سرعة غير كافية إلى تصلب الذوبان بسرعة. يخلق هذا التصلب السريع إجهادًا ميكانيكيًا على بطانة البوتقة، مما يؤدي إلى حدوث تشققات أو كسر.
- التدبير الوقائي: تنفيذ خفض تدريجي للطاقة للسماح للذوبان بالتبريد المتساوي، مما يقلل من الإجهاد ويطيل عمر البوتقة.

Boron Nitride E-Beam Crucibles

Item No.	Capacities (mL)	Drawings	Top Diameter A (mm/inch)	Height B (mm/inch)	Wall Thickness C (mm/inch)	Inquiry
EVCEB-2	2		17.9 (0.70")	11.8 (0.47")	2.4 (0.09")
EVCEB-4	4		22.0 (0.87")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCEB-4A	4		22.5 (0.89")	15.1 (0.60")	2.4 (0.09")
EVCEB-7	7		29.6 (1.17")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCEB-7A	7		28.6 (1.13")	13.2 (0.52")	2.4 (0.09")
EVCEB-12	12		33.9 (1.33")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCEB-15	15		37.6 (1.48")	17.0 (0.67")	3.2 (0.13")
EVCEB-20	20		42.5 (1.67")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCEB-25	25		47.0 (1.85")	17.3 (0.68")	2.4 (0.09")
EVCEB-25A	25		41.5 (1.63")	23.9 (0.94")	2.4 (0.09")
EVCEB-30	30		48.8 (1.92")	20.6 (0.81")	2.4 (0.09")
EVCEB-30A	30		45.1 (1.78")	23.9 (0.81")	2.4 (0.09")
EVCEB-40	40		51.6 (2.03")	25.9 (1.02")	2.4 (0.09")
Material, shape and size can be tailored. Rectangular Nitride crucible is available.