Crisoles de haz de electrones de nitruro de boro

Visión general de los revestimientos del crisol y las mejores prácticas de evaporación de la viga E

Los revestimientos de crisol desempeñan un papel fundamental en la evaporación por haz electrónico, ya que influyen directamente en la deposición de material y en la eficacia del proceso. MetalsTek ofrece una gama de revestimientos de crisol con tamaños personalizados disponibles para adaptarse a diversas necesidades operativas.

Crisoles aislantes: Por qué no son ideales

Los crisoles eléctricamente aislantes son generalmente inadecuados para la evaporación por haz electrónico debido a su incapacidad para gestionar el flujo de electrones durante el proceso.

Acumulación de electrones:
Cuando los electrones bombardean el material en un revestimiento de crisol aislante, no pueden descargarse a tierra. Esto provoca la acumulación de carga en el material.
- Desviación del haz: A medida que la carga se acumula, comienza a desviar el haz electrónico, interrumpiendo la deposición.
- Recomendación: MetalsTek aconseja utilizar revestimientos de crisol conductores de la electricidad para todas las deposiciones metálicas. Los revestimientos conductores permiten que los electrones fluyan sin problemas a través del material, hacia el revestimiento del crisol y, finalmente, hacia el hogar, lo que evita la desviación del haz y garantiza un proceso estable.

Causas comunes de rotura del crisol

Para evitar daños en los crisoles durante la evaporación por haz electrónico, es esencial que la manipulación y el ajuste de los parámetros sean correctos. Dos causas comunes de rotura son los ajustes incorrectos de rampa/remojo y los apagados bruscos.

1. Ajustes de rampa/remojo mal gestionados

Los procesos de evaporación por haz electrónico suelen implicar dos niveles de potencia de rampa/remojo para calentar gradualmente los materiales hasta la temperatura de deposición. Los errores en estos ajustes pueden provocar problemas importantes:

Transición a control PID: Una vez que el material alcanza la temperatura de deposición, el control de potencia pasa de los niveles de rampa/remojo a un bucle PID. Este bucle gestiona la fuente de alimentación del cañón electrónico y el controlador de cristal de cuarzo para mantener la velocidad de deposición deseada.
- Oscilaciones de potencia inestables: Si los ajustes de rampa2/remojo2 están lejos del nivel de potencia requerido para la deposición (por ejemplo, 1 Ångström/seg), el bucle PID lucha por estabilizarse. Pueden producirse oscilaciones bruscas de la potencia (de +90% a 0%), licuando y condensando rápidamente el material, lo que tensa el crisol y provoca grietas.
- Solución: Asegurarse de que los niveles de rampa2/remojo2 están lo más cerca posible de la potencia necesaria para la velocidad de deposición deseada. Esto minimiza los ajustes del bucle PID, reduciendo el riesgo de cambios rápidos de fase.

2. Apagones bruscos

La manipulación incorrecta de la fuente de alimentación después de la deposición es otra causa común de daños en el crisol:

Tensión por enfriamiento rápido: Apagar la fuente de alimentación repentinamente o utilizar un período de rampa de descenso insuficiente hace que la masa fundida se solidifique rápidamente. Esta solidificación rápida crea tensiones mecánicas en el revestimiento del crisol, provocando grietas o roturas.
- Medida preventiva: Reducir gradualmente la potencia para permitir que la masa fundida se enfríe uniformemente, reduciendo la tensión y prolongando la vida útil del crisol.

Boron Nitride E-Beam Crucibles

Item No.	Capacities (mL)	Drawings	Top Diameter A (mm/inch)	Height B (mm/inch)	Wall Thickness C (mm/inch)	Inquiry
EVCEB-2	2		17.9 (0.70")	11.8 (0.47")	2.4 (0.09")
EVCEB-4	4		22.0 (0.87")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCEB-4A	4		22.5 (0.89")	15.1 (0.60")	2.4 (0.09")
EVCEB-7	7		29.6 (1.17")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCEB-7A	7		28.6 (1.13")	13.2 (0.52")	2.4 (0.09")
EVCEB-12	12		33.9 (1.33")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCEB-15	15		37.6 (1.48")	17.0 (0.67")	3.2 (0.13")
EVCEB-20	20		42.5 (1.67")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCEB-25	25		47.0 (1.85")	17.3 (0.68")	2.4 (0.09")
EVCEB-25A	25		41.5 (1.63")	23.9 (0.94")	2.4 (0.09")
EVCEB-30	30		48.8 (1.92")	20.6 (0.81")	2.4 (0.09")
EVCEB-30A	30		45.1 (1.78")	23.9 (0.81")	2.4 (0.09")
EVCEB-40	40		51.6 (2.03")	25.9 (1.02")	2.4 (0.09")
Material, shape and size can be tailored. Rectangular Nitride crucible is available.