Menu
توفر شركة MetalsTek Engineering جميع أنواع أهداف رش التنتالوم الاخرق عالية الجودة بمواد وأشكال وأحجام ونقاوة مصممة خصيصًا.
هدف الاخرق: Ta، TaC، TaN، Ta2O5،TaSi2
نوع الهدف: قرص، مستوٍ، دوارة، دوارة، مخصصة
الحجم: حسب الطلب
ربط الظهر: إنديوم، إيلاستومر
المادة: التنتالوم (Ta-1، Ta-2، Ta-3)
النقاء تا 99.95%، 99.99%، 99.99%، 99.999%
المعيار: ASTM B708 (التسطيح 0.1%، الخشونة 0.8 ~ 1.6 ميكرومتر)
نطاق الحجم: قرص – القطر 1″~ 30″ * السُمك 0.125″/0.25″
مستطيل – سمك 3 ~ 20 مم * العرض 20 ~ 500 مم * الطول 20 ~ 1,000 مم
| Grade | Ta≥% | Chemical Composition, Max (ppm) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Fe | Si | Mo | W | Ti | Cr | Nb | Ni | O | C | H | N | ||
| Ta1 | 99.995 | 1 | 0.08 | 10 | 20 | 0.8 | 0.5 | 20 | 0.1 | 100 | 50 | 15 | 50 |
| Ta2 | 99.99 | 3 | 10 | 10 | 50 | 2 | 10 | 50 | 2 | 120 | 80 | 20 | 80 |
| Ta3 | 99.95 | 10 | 20 | 50 | 100 | 10 | 20 | 300 | 10 | 150 | 100 | 30 | 100 |
المادة: كربيد التنتالوم، كربيد التنتالوم، TaC
النقاء: 99.5%
درجة الانصهار: 3,880 درجة مئوية
الأحجام القياسية: القطر 1 بوصة، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة، 6 بوصة، 8 بوصة؛ السُمك 0.125 بوصة، 0.25 بوصة؛ أو حسب الطلب
المادة: نيتريد التنتالوم، TaN
النقاء: 99.5%
الرذاذ الترددات اللاسلكية، RF-R
درجة الانصهار: 3,360 درجة مئوية
الأحجام القياسية: القطر 1 بوصة، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة؛ السمك 0.125 بوصة، 0.25 بوصة؛ أو حسب الطلب
المادة: خماسي أكسيد التنتالوم، Ta2O5
النقاء: 99.99%
الرذاذ الترددات اللاسلكية، RF-R
درجة الانصهار: 1,872 درجة مئوية
الأحجام القياسية: القطر 1 بوصة، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة؛ السُمك 0.125 بوصة، 0.25 بوصة؛ أو حسب الطلب
المادة: التنتالوم سيليسيديوم التنتالوم، TaSi2
النقاء: 99.5%
الترابط متاح: إنديوم
الأحجام القياسية: القطر 1 بوصة، 2 بوصة، 3 بوصة، 4 بوصة؛ السُمك 0.125 بوصة، 0.25 بوصة؛ أو حسب الطلب
تُستخدم أهداف رش التنتالوم في ترسيب الأغشية الرقيقة، حيث يتم ترسيب طبقة رقيقة من التنتالوم على ركيزة صلبة عن طريق الإزالة المتحكم فيها للمواد من الهدف. وتُستخدم عادةً في ترسيب طبقات التنتالوم الرقيقة المجهرية على رقائق السيليكون، مما يتيح تصنيع الجيل القادم من الرقائق المنطقية لأشباه الموصلات، بما في ذلك رقائق الذاكرة DRAM وذاكرة 3D-NAND. التنتالوم هو معدن أزرق رمادي داكن، ثقيل وقابل للطرق وصلب ومقاوم للتآكل.
تتضمن أهداف رش التنتالوم الاخرق نوع القرص والنوع المستطيل والنوع الدوار.
عند مقارنة الأهداف الدوارة بالأهداف المستوية، من الواضح أنها تقدم العديد من المزايا. فهي تحتوي على المزيد من المواد، مما يؤدي إلى استخدام أكبر، وعمليات إنتاج أطول، وتقليل وقت تعطل النظام، وبالتالي زيادة إنتاجية معدات الطلاء. بالإضافة إلى ذلك، يتم تمكين كثافات طاقة أعلى بسبب الانتشار المتساوي لتراكم الحرارة على مساحة سطح الهدف. ويؤدي ذلك إلى زيادة سرعة الترسيب وتحسين الأداء أثناء الاخرق التفاعلي.
بعض الجوانب والتطبيقات الرئيسية لأهداف رش التنتالوم الاخرق:
إن ثبات التنتالوم الحراري والكيميائي الممتاز، إلى جانب قدرته على تشكيل أغشية رقيقة ملتصقة وعالية الجودة، يجعله مادة قيّمة في عملية الاخرق لمجموعة من التطبيقات.
يتم تمييز أهداف التنتالوم الاخرق الخاصة بنا بوسمها بوضوح وتوسيمها خارجيًا لضمان كفاءة تحديد الهوية ومراقبة الجودة. يتم توخي الحذر الشديد لتجنب أي تلف قد يحدث أثناء التخزين أو النقل.