البوتقات متعددة الفلزات (BN-TiB2) ذات الشعاع الإلكتروني

غالبًا ما ينتج تلف البوتقة عن المناولة غير السليمة أثناء عملية التبخير بالحزمة الإلكترونية (الشعاع الإلكتروني). وهناك سببان رئيسيان يشملان إعدادات المنحدر/النقع غير الصحيحة وإيقاف التشغيل المفاجئ للطاقة.

1. إعدادات المنحدر/النقع غير صحيحة

تعتمد عملية التبخير بالشعاع الإلكتروني عادةً على مستويين من الطاقة المنحدرة/النقع لتسخين المواد تدريجيًا للترسيب. ويمكن أن يؤدي سوء إدارة هذه المستويات إلى مشاكل كبيرة، بما في ذلك تكسير البوتقة.

• الانتقال من المنحدر/النقع:
  عندما تصل المادة إلى درجة حرارة الترسيب، يتحول التحكم في الطاقة من إعدادات المنحدر/النقع إلى حلقة PID التي تدير مصدر طاقة البندقية الإلكترونية ووحدة التحكم في بلورات الكوارتز. إذا لم يكن مستوى طاقة المنحدر/النقع الثاني (المنحدر2/النقع2) متوافقًا بشكل وثيق مع الطاقة اللازمة للحفاظ على معدل الترسيب المطلوب (على سبيل المثال، 1 أنجستروم/ثانية)، فقد تواجه حلقة PID صعوبة في الاستقرار.
  • تقلبات الطاقة الجامحة: يمكن أن تتأرجح الطاقة بشكل كبير (+90% إلى 0%) قبل أن تستقر، مما يتسبب في تسييل المادة وتكثيفها بشكل متكرر. يمكن أن تؤدي هذه التغيرات الطورية السريعة إلى حدوث تشققات في البوتقة.
  • التدابير الوقائية: يقلل ضبط مستويات طاقة المنحدر2/النقع2 بالقرب من طاقة الترسيب المطلوبة من تعديلات PID ويمنع دورات التسييل والتكثيف السريعة.

2. انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ

كما يمكن أن يؤدي الإيقاف المفاجئ لمصدر الطاقة أو عدم كفاية وقت التخفيض بعد الترسيب إلى إجهاد البوتقة.

• التصلب السريع:
  عندما يتصلب الذوبان بسرعة كبيرة، فإنه يخلق إجهادًا ميكانيكيًا على بطانة البوتقة. يمكن أن يؤدي هذا الإجهاد إلى التشقق أو الكسر.
  • الحل: قم بتقليل الطاقة تدريجيًا بعد الترسيب للسماح للذوبان بالتبريد والتصلب بالتساوي.

الأفكار النهائية

تُعد البوتقات بين الفلزات أدوات قوية لعمليات ترسيب المواد، ولكن الإدارة الدقيقة لمعايير التبخير بالحزمة الإلكترونية أمر بالغ الأهمية لطول عمرها. يعد الالتزام بمستويات المنحدر/النقع المناسبة وتجنب الإغلاق المفاجئ للطاقة أمرًا أساسيًا لمنع التلف. توفر بوتقات MetalsTek القابلة للتخصيص من MetalsTek البوتقات البينية المعدنية المرونة والموثوقية اللازمة لمجموعة واسعة من التطبيقات.