مواد التبخير البلاتينية

تُستخدم مواد التبخير البلاتينية في عمليات الترسيب المختلفة مثل أشباه الموصلات والترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). هذه المواد ضرورية لإنشاء أفلام ترسيب عالية الجودة. البلاتين هو معدن انتقالي كثيف ومرن وغير تفاعلي للغاية مع مقاومة استثنائية للتآكل، حتى في درجات الحرارة العالية. وهو أقل المعادن تفاعلاً من بين ستة معادن (Pt وPd وPd وOs وIR وRh وRu). ويظل غير متأثر بالأكسجين والماء، ولا يذوب إلا في الماء أو القلويات المنصهرة. وتتميز مادة التبخير البلاتينية بنقاوة استثنائية، تتجاوز عادةً 99.95%، مما يضمن ترسيب غشاء عالي الجودة مع الحد الأدنى من الشوائب. وتبلغ درجة انصهارها 1,772 درجة مئوية، وكثافتها 21.4 جم/سم مكعب، وضغط بخارها ^10-4 تور عند 1,747 درجة مئوية. وهو معدن أبيض فضي مشع يشبه البلاديوم بشكل مذهل. وهو كثيف وقابل للطرق وقابل للسحب ومقاوم للتآكل في الهواء.