تبخر الموليبدينوم

يُظهِر الموليبدينوم، الذي يُصنَّف كفلز انتقالي في الجدول الدوري، مظهرًا رماديًا معدنيًا ويتميز بخصائص فيزيائية ملحوظة. وتبلغ درجة انصهاره 2,617 درجة مئوية، وكثافته 10.2 جم/سم مكعب، وضغط بخاره ^10-4 تور عند 2,117 درجة مئوية، ويُعرف الموليبدينوم بمتانته. وبالاستفادة من قوته ونقطة انصهاره العالية، يتم استخدام الموليبدينوم في الغالب مع معادن أخرى لإنتاج مواد مقاومة للتآكل توجد عادةً في الأدوات وأجزاء الطائرات والتلامس الكهربائي. في التكنولوجيا المتقدمة، يتم تبخير الموليبدينوم في ظروف التفريغ، مما يساهم في إنتاج شاشات العرض المتطورة وأشباه الموصلات وأجهزة الاستشعار.

تشير مواد تبخير الموليبدينوم إلى المواد المكونة في المقام الأول من الموليبدينوم المستخدمة في الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). ينطوي الترسيب الفيزيائي بالتبخير الفيزيائي على ترسيب الأغشية الرقيقة أو الطلاءات على الأسطح من خلال تبخير وتكثيف المادة. الموليبدينوم هو معدن حراري معروف بنقطة انصهاره العالية وتوصيله الحراري الممتاز ومقاومته للتآكل.

ينطوي التبخير الحراري للموليبدينوم (Mo) على تحقيق ضغط بخار توازن الترسيب (EVP) يبلغ 10-2 تورر، والذي يعتبر الأمثل للترسيب السريع في الأنظمة ذات الحجم القياسي. والعامل الرئيسي الذي يؤثر على EVP هو درجة الحرارة، ويساعد الرجوع إلى المخططات أو المراجع في تحديد درجة الحرارة المطلوبة للوصول إلى ضغط بخار التوازن المرغوب فيه ^10-2 تور. في حالة الموليبدينوم، تكون درجة الحرارة اللازمة للمادة للوصول إلى ضغط بخار يبلغ ^10-2 تورر هي 2600 درجة مئوية تقريبًا.

ومع ذلك، يمثل التبخير الحراري للموليبدينوم تحديات بسبب الطاقة الكبيرة المطلوبة لتبخير المادة بكفاءة. ونتيجة لذلك، يوصى باستخدام طرق بديلة مثل التبخير بالحزمة الإلكترونية أو التبخير بالحزمة الإلكترونية أو الرش المغنطروني للترسيب الناجح للموليبدينوم.