بوتقات أكسيد الألومنيوم لمصادر الشعاع الإلكتروني

يمكن أن تؤدي عدة عوامل إلى تلف البوتقة أثناء التبخير بالحزمة الإلكترونية. ويشمل السببان الرئيسيان إعدادات المنحدر/النقع غير الصحيحة وإيقاف التشغيل المفاجئ للطاقة.

1. إعدادات المنحدر/النقع غير صحيحة

تتضمن وصفة التبخير بالحزمة الإلكترونية القياسية مستويين من الطاقة المنحدرة/النقع التي تسخن المادة تدريجيًا حتى يبدأ الترسيب. يمكن أن تسبب الأخطاء في هذه الإعدادات مشاكل كبيرة:

• الانتقال إلى حلقة PID: عند بدء الترسيب، يتحول التحكم في الطاقة إلى حلقة PID التي تدير مصدر طاقة البندقية الإلكترونية ووحدة التحكم في بلورات الكوارتز. إذا لم يكن مستوى طاقة المنحدر2/النقع2 قريبًا من المستوى المطلوب لتحقيق معدل الترسيب المحدد (على سبيل المثال، 1 Ångström/ثانية)، فقد تعوض حلقة PID بشكل مفرط.
  • تقلبات الطاقة: قد تتسبب حلقة PID في تذبذب الطاقة بين النقيضين (+90% إلى 0%)، مما يؤدي إلى تسييل وتكثيف المادة بسرعة. تجهد هذه الدورات البوتقة، مما يؤدي إلى حدوث تشققات.
  • الحل: قم بمحاذاة مستويات المنحدر2/النقع2 بشكل وثيق مع الطاقة اللازمة لمعدل الترسيب. هذا يقلل من تعديلات PID ويمنع التغيرات الطورية السريعة الضارة.

2. انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ

تنشأ مشكلة شائعة أخرى من التعامل غير السليم مع مصدر الطاقة بعد الترسيب.

• إجهاد التبريد المفاجئ: يؤدي إيقاف تشغيل مصدر الطاقة فجأة أو استخدام فترة خفض منحدر قصيرة جدًا إلى تصلب الذوبان بسرعة. ويؤدي هذا التصلب السريع إلى حدوث إجهاد على بطانة البوتقة، مما قد يؤدي إلى حدوث تشققات أو كسر.
  • التدبير الوقائي: استخدم عملية التخفيض التدريجي للسماح للذوبان بالتبريد المتساوي وتقليل الضغط على البطانة.