Creusets en oxyde d’aluminium pour sources à faisceau d’électrons

Plusieurs facteurs peuvent endommager le creuset pendant l’évaporation par faisceau d’électrons. Les deux principales causes sont les réglages incorrects de la rampe/du trempage et les arrêts brusques de l’alimentation.

1. Réglages incorrects de la rampe/du trempage

Une recette standard d’évaporation par faisceau d’électrons comprend deux niveaux de puissance de rampe/trempage qui chauffent progressivement le matériau jusqu’à ce que le dépôt commence. Des erreurs dans ces réglages peuvent entraîner des problèmes importants :

• Transition vers la boucle PID : Lorsque le dépôt commence, la commande de puissance passe à une boucle PID qui gère l’alimentation électrique du pistolet électrique et le contrôleur de quartz. Si le niveau de puissance de la rampe2/soak2 n’est pas proche du niveau requis pour atteindre la vitesse de dépôt spécifiée (par exemple, 1 Ångström/sec), la boucle PID peut surcompenser.
  • Fluctuations de puissance : La boucle PID peut faire osciller la puissance entre des extrêmes (+90% et 0%), liquéfiant et condensant rapidement le matériau. Ces cycles soumettent le creuset à des contraintes qui provoquent des fissures.
  • Solution : Alignez les niveaux de rampe2/soak2 étroitement avec la puissance nécessaire pour le taux de dépôt. Cela permet de réduire les réglages PID et d’éviter les changements de phase rapides et nuisibles.

2. Coupures d’électricité brutales

Un autre problème courant est lié à une mauvaise manipulation de l’alimentation électrique après le dépôt.

• Refroidissement soudain Contrainte : Le fait de couper brusquement l’alimentation électrique ou d’utiliser une période de descente très courte entraîne une solidification rapide de la matière fondue. Cette solidification rapide crée une contrainte sur le revêtement du creuset, ce qui peut entraîner des fissures ou des ruptures.
  • Mesure préventive : utiliser un processus de descente progressive pour permettre à la matière fondue de refroidir uniformément et de réduire la tension sur le revêtement.