Cibles de pulvérisation au manganèse

MetalsTek Engineering est un leader mondial dans la fabrication et la fourniture de cibles de pulvérisation au manganèse.

Cible de pulvérisation au manganèse, Mn

Matériau : Manganèse, Mn

Pureté : 99,5%~99.95%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation cathodique manganèse-cuivre, Mn/Cu

Matériau : Alliage de cuivre au manganèse

Pureté : 99,9%~99.99%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation du fer et du manganèse, Fe/Mn

Matériau : Alliage de fer et de manganèse

Pureté : 99,9

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation au manganèse et au nickel, Mn/Ni Ni/Mn

Matériau : Alliage de manganèse et de nickel

Pureté : 99,9%~99.99%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation cathodique aluminium-manganèse, Al/Mn

Matériau : Alliage d’aluminium et de manganèse

Pureté : 99,9%~99.999%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Taille standard : Dia.1″, 2″, 3″, 4″, 5″, 6″ ; Epaisseur. 0.125″, 0.25″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation au manganèse et à l'étain, MnSn

Matériau : Alliage d’étain et de manganèse

Pureté : 99,9%~99.999%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation cathodique cuivre-manganèse-nickel, CuMnNi

Matériau : Alliage cuivre-manganèse-nickel

Pureté : 99,9%~99.999%

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Autres cibles de pulvérisation en alliage de manganèse

Matériau : Ir/Mn, Pt/Mn, Ni/Fe/Mo/Mn, Co/Cr/Fe/Ni/Mn, Mn-Ga, etc.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation d'oxyde de manganèse, MnO

Matériau : Oxyde de manganèse

Pureté : 99,9

Propriétés : Vert, 5.43g/cc Densité, 1,945°C M.P.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation d'oxyde de manganèse, Mn2O3

Matériau : Oxyde de manganèse

Pureté : 99,9%~99.999%

Propriétés : Noir, 4,5g/cc Densité, 1 080°C M.P.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Applications des cibles de pulvérisation d'oxyde de manganèse
  1. Dispositifs semi-conducteursLes couches minces de Mn2O3 déposées à l’aide de cibles de pulvérisation font partie intégrante de la fabrication des semi-conducteurs, contribuant à la production de dispositifs électroniques tels que les transistors, les condensateurs et les diodes. Ces films servent de matériaux diélectriques, de couches isolantes ou de films barrières, améliorant ainsi la fonctionnalité et les performances des circuits intégrés.
  2. Capteurs de gazLes films de Mn2O3 sont utilisés dans les applications de détection de gaz tels que l’ammoniac, l’hydrogène et le monoxyde de carbone. Ces capteurs sont essentiels pour la surveillance de l’environnement, la sécurité industrielle et les systèmes d’échappement automobile en raison de leur sensibilité et de leur sélectivité élevées pour des gaz spécifiques.
  3. CatalyseLes couches minces de Mn2O3 servent de catalyseurs dans diverses réactions chimiques, notamment les processus d’oxydation, d’hydrogénation et de décomposition. Elles jouent un rôle important dans les processus industriels tels que la production de carburant, la dépollution de l’environnement et la synthèse chimique en améliorant les taux de réaction et la sélectivité.
  4. Films conducteurs transparents:Les films conducteurs transparents produits à partir de revêtements de Mn2O3 déposés sur des cibles de pulvérisation cathodique sont essentiels pour les écrans tactiles, les cellules solaires et les affichages. Ces films combinent la conductivité électrique et la transparence optique, ce qui les rend idéaux pour les dispositifs optoélectroniques.
  5. Dispositifs magnéto-optiquesLes films minces de Mn2O3 sont utilisés dans les dispositifs magnéto-optiques pour manipuler la lumière en fonction des champs magnétiques. Ils sont utilisés dans les systèmes de stockage optique, l’enregistrement magnéto-optique des données et les capteurs magnétiques pour la lecture et l’écriture d’informations.
  6. Électrodes de batterieMn2O3 est un matériau actif dans les cathodes des batteries lithium-ion en raison de sa capacité et de sa stabilité élevées. Les films minces de Mn2O3 obtenus à partir de cibles de pulvérisation permettent la production d’électrodes avec un stockage d’énergie et des performances de cyclage améliorés.
  7. Recherche et développementLes cibles de pulvérisation d’oxyde de manganèse (Mn2O3) sont utilisées dans les laboratoires de recherche pour les études de dépôt de couches minces et la caractérisation des matériaux. Les chercheurs explorent les propriétés des films de Mn2O3 pour développer de nouvelles technologies et comprendre leur comportement dans divers environnements.

Cible de pulvérisation de sulfure de manganèse, MnS

Matériau : Sulfure de manganèse

Pureté : 99,9

Propriétés : 3,99g/cc Densité, 1 610°C M.P.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation en tellurure de manganèse, MnTe

Matériau : Tellurure de manganèse

Pureté : 99,9%~99.95%

Propriétés : 6g/cc Densité, 1 150°C M.P.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Cible de pulvérisation de fluorure de manganèse, MnF2

Matériau : Fluorure de manganèse

Pureté : 99,9

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Autres cibles de pulvérisation en céramique au manganèse

Matériau : MnO 2, MnSe, LaMnO 3, La 0,67Ca 0,33MnO 3, Pr 0,7Ca 0,3MnO 3, La (1-x)Ba xMnO 3, La 2CuMnO 6, MnCo 2O 4, SrMnO3, TbMnO 3, YMnO 3, LiMn 2O 4, CaMnO 3, La 0,7Sr0,3MnO3, MnFe2O4, etc.

Forme : Disques, plaques, cibles à colonnes, cibles à échelons, sur mesure

Dimensions : Disque – Dia. 1″~14″ * Epaisseur 0.125″ / 0.25″

Bloc – Epaisseur≥1mm * Largeur ≤12″ * Longueur≤14″

Liaison : Indium, élastomère

Description

Les cibles de pulvérisation au manganèse sont des matériaux essentiels utilisés dans les processus de dépôt de couches minces pour diverses applications dans tous les secteurs. Ces cibles sont conçues pour les processus de pulvérisation, les sources d’évaporation et les matériaux de dépôt. Les cibles de pulvérisation du manganèse sont utilisées dans divers domaines industriels tels que la fabrication de semi-conducteurs, l’optique, les revêtements de protection contre l’usure, les revêtements décoratifs et les écrans. Avec des niveaux de pureté élevés et des dimensions précises, ces cibles garantissent un dépôt de film de qualité pour les technologies de pointe. Elles jouent un rôle important dans l’amélioration des performances et de la fonctionnalité des composants et appareils électroniques grâce à des processus de dépôt de couches minces. Les cibles de pulvérisation au manganèse sont des composants essentiels qui contribuent à l’avancement de diverses applications technologiques nécessitant des revêtements de film et des matériaux de dépôt précis.

Spécifications du manganèse (Mn)

Type de matériau

Manganèse

Poutre en E

Bon

Symbole

Mn

Techniques d’évaporation thermique

Bateau : W, Ta, Mo

Poids atomique

54.938045

Bobine : W

Numéro atomique

25

Panier : W

Couleur/apparence

Métallique argenté

Creuset :Al2O3

Conductivité thermique

7,8 W/m.K

Matériau du revêtement du creuset E-Beam

Tungstène

Point de fusion

1,244°C

Temp. (°C) pour Vap. donnée Press. (Torr)

10-8: 507

Coefficient de dilatation thermique

21,7 x 10-6/K

10-6: 572

Densité théorique

≈7.2 g/cc

10-4: 647

Rapport Z

0.377

Applications

Les cibles de pulvérisation au manganèse, composées de manganèse pur ou d’alliages de manganèse, trouvent de nombreuses applications dans diverses industries en raison de leurs propriétés et caractéristiques uniques :

  1. Dépôt de couches minces :Les cibles de pulvérisation du manganèse sont couramment utilisées dans les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des couches minces de manganèse sur des substrats. Ces couches minces sont utilisées dans la fabrication de dispositifs microélectroniques, tels que les semi-conducteurs, les circuits intégrés et les capteurs.
  2. Supports de stockage magnétiques :Les cibles de pulvérisation du manganèse sont utilisées dans la production de supports de stockage magnétiques, notamment les disques durs et les bandes magnétiques. Des couches minces de manganèse sont déposées dans les couches magnétiques, contribuant ainsi au stockage et à la récupération des données numériques dans ces appareils.
  3. Enregistrement magnéto-optique :Les films minces à base de manganèse déposés à l’aide de cibles de pulvérisation sont utilisés dans les technologies d’enregistrement magnéto-optique. Ces matériaux permettent l’enregistrement, le stockage et la récupération de données sur des disques magnéto-optiques, qui trouvent des applications dans le stockage d’archives, la sauvegarde de données et les systèmes de stockage de données optiques.
  4. Dispositifs optoélectroniques :Les cibles de pulvérisation du manganèse sont utilisées dans la fabrication de dispositifs optoélectroniques, notamment les diodes électroluminescentes (DEL), les cellules photovoltaïques et les panneaux solaires. Les couches minces à base de manganèse servent de couches actives ou d’électrodes dans ces dispositifs, contribuant ainsi à leur fonctionnalité et à leurs performances.
  5. Films conducteurs transparents :Les films minces d’oxyde dopé au manganèse déposés à l’aide de cibles de pulvérisation présentent des propriétés conductrices transparentes, ce qui permet de les utiliser dans des électrodes transparentes pour les écrans, les écrans tactiles et les cellules solaires. Ces films offrent une combinaison de conductivité électrique et de transparence optique, ce qui permet de les utiliser dans diverses applications optoélectroniques et photovoltaïques.
  6. Protection contre la corrosion :Les couches minces contenant du manganèse déposées à l’aide de cibles de pulvérisation cathodique peuvent être appliquées comme revêtements protecteurs pour atténuer la corrosion des substrats métalliques. Ces revêtements offrent une résistance à la corrosion et une durabilité accrues, ce qui permet de les utiliser dans des applications automobiles, aérospatiales et marines.
  7. Applications biomédicales :Les films minces à base de manganèse déposés à l’aide de cibles de pulvérisation ont des applications potentielles dans les dispositifs biomédicaux et les implants. Ces matériaux peuvent être utilisés pour leur biocompatibilité, leur résistance à la corrosion et leurs propriétés magnétiques dans des applications telles que les systèmes d’administration de médicaments, les dispositifs de biodétection et les agents de contraste pour l’imagerie par résonance magnétique (IRM).

Les cibles de pulvérisation cathodique au manganèse jouent un rôle crucial dans diverses avancées technologiques et applications industrielles, allant de l’électronique et du stockage de l’information à la production d’énergie et à l’ingénierie biomédicale. Leur polyvalence, associée à la capacité de déposer des couches minces précises, les rend indispensables dans les processus de fabrication modernes.

Emballage

Nos cibles de pulvérisation au manganèse sont clairement étiquetées à l’extérieur pour garantir une identification efficace et un contrôle de qualité. Nous prenons grand soin d’éviter tout dommage pendant le stockage ou le transport.

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