Las fuentes microelectrónicas son versiones a escala reducida de nuestras fuentes de evaporación estándar. Estas fuentes se utilizan mejor cuando el espacio es limitado o para sistemas de menor potencia. En ocasiones, las fuentes pueden utilizarse más de una vez para calentar el mismo material, pero a menudo el evaporante “sella” la tapa al cuerpo, imposibilitando la separación y, por tanto, impidiendo que se coloque material fresco en el lugar correcto.