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La adhesión de cátodos de elastómero es un proceso especializado utilizado principalmente en las industrias de semiconductores y deposición de materiales. Este método consiste en fijar un cátodo para sputtering a una placa de soporte utilizando un material elastomérico. El proceso garantiza una conductividad térmica y eléctrica óptima, al tiempo que proporciona flexibilidad y durabilidad en condiciones operativas variables.
La unión de cátodos con elastómeros utiliza un elastómero, un polímero con propiedades elásticas, para unir el material del cátodo a una placa de soporte. El elastómero actúa como una capa adhesiva que puede absorber tensiones mecánicas, adaptarse a las diferencias de dilatación térmica y mantener la integridad de la unión durante el proceso de sputtering.
| Temperatura máxima de funcionamiento (°C) | 250 ° C |
| Conductividad térmica (W/mK) | 54 |
| Coeficiente de dilatación térmica (K-1) | 2.2 x 10-4 |
| Resistividad eléctrica (ohm-cm) | 0.0476 |
| Cobertura de la fianza | >98% |
| Espesor de la línea de unión | 0.010″ ~ 0.025″ |
El pegado de objetivos con elastómeros se utiliza ampliamente en diversas aplicaciones, entre ellas: