Mikroelektronische Quellen sind als kleinere Versionen unserer Standardverdampfungsquellen erhältlich. Diese Quellen sind am besten geeignet, wenn der Platz begrenzt ist oder für Systeme mit geringerer Leistung. Heizgeräte können manchmal mehr als einmal verwendet werden, wenn sie dasselbe Material erwärmen, aber oft “versiegelt” das Verdampfungsmittel den Deckel mit dem Körper, was eine Trennung unmöglich macht und daher verhindert, dass frisches Material an der richtigen Stelle platziert wird.