Ein wirtschaftlich attraktiver Ersatz für silbergefüllte Pasten, die normalerweise beim Target Bonding verwendet werden.
Wenn sie zwischen der Rückseite eines (eingespannten, nicht gebondeten) Targets und der Kühlwanne einer Magnetron-Sputterquelle platziert werden, verbessern diese Platten die Wärmeübertragung, insbesondere bei Targets mit schlechtem Wärmekontakt oder schlechter Wärmeleitfähigkeit.
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Leitfähige Elastomer-Platten/Scheiben | |
NASA-Bewertung | Typ A |
Elastomer-Bindemittel | Silikon |
Leitfähiger Füllstoff | Silber/Kupfer |
Volumenwiderstand (wie geliefert) | 0,004 Ohm-cm |
Härte | 65 Shore |
Spezifische Schwerkraft | 1.9 |
Zugfestigkeit | 200 psi |
Dehnung | 100% |
Reißfestigkeit | 40 lb./in. |
Druckverformungsrest (70 Std. @ 100˚) | 32% |
Tieftemperatur Flex | -65˚C |
Max. Temperatur bei Dauerbetrieb | 125˚C |