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Wiederaufladbare Baffled Boxes sind ideal für die thermische Verdampfung von Siliziummonoxid und anderen Materialien, die zum Spucken neigen.
Nicht wiederaufladbare Baffled Boxen sind ideal für die thermische Verdampfung von Siliziummonoxid und anderen Materialien, die zum Spucken neigen.
Kastenquellen sind in verschiedenen Ausführungen erhältlich. Diese Kastenstrahler verringern die durch die Erwärmung bestimmter Materialien entstehende Spucke. Die Ablenkungen in den Quellen verhindern die Sichtverbindung zwischen dem Schüttgut und dem Substrat.