Wiederaufladbare Baffled Boxen

Übersicht

Hervorragende Wärmequellen für die Abscheidung dünner Siliziummonoxidschichten.

Wie sie funktionieren

  • Die Kiste wird vor der Verwendung mit SiO beladen (nicht mehr als das für die Kiste angegebene Gewicht)
  • SiO in loser Schüttung wird in einem oder mehreren Abteilen aufbewahrt, die indirekt mit dem Schornstein verbunden sind.
  • Bei der Erhitzung des Kastens wird der SiO-Dampf gezwungen, durch eine Reihe von Leitblechen zu strömen, bevor er am Kamin austritt
  • Da es keine Sichtverbindung zwischen dem Schüttgut und der Substratoberfläche gibt, werden die schädlichen Auswirkungen von Spucke oder Schlieren auf der Ablagerungsschicht eliminiert.

Zusätzliche Informationen

  • Erhältlich als nicht wiederaufladbare und wiederaufladbare Version – benannt nach dem Ort der Erstaufladung oder der Wiederaufladung
  • Eine wiederaufladbare Box kann durch einen oder zwei Deckel befüllt werden, während sie noch auf ihren elektrischen Durchführungen in der Vakuumkammer montiert ist
  • Eine nicht wiederaufladbare Box muss vor dem Aufladen oder Wiederaufladen von ihren elektrischen Durchführungen abgebaut und zerlegt werden.
  • Beide Modelle haben eine lange Lebensdauer und können mehrmals aufgeladen werden.
  • Entworfen mit zwei Richtungen der Verdunstungsfahne: nach oben “vertikal” oder nach unten “invertiert” (durch Drehen einer der beiden Quellen auf die Seite kann eine “horizontale” Fahne angeordnet werden)

Wiederaufladbare Baffled Boxen

Wiederaufladbare Baffled Boxen

2 Ladekappen

#Nr. 578: 1,4Volt, 257 Ampere, 360 Watt

#Nr. 579: 1,4Volt, 256 Ampere, 358 Watt

Wiederaufladbare Baffled Boxen

1 Ladekappe

#Nr. 580: 0,86Volt, 333 Ampere, 286 Watt

#Nr. 581: 0,91Volt, 328 Ampere, 298 Watt

Wiederaufladbare Baffled Boxen

1 Ladekappe

#Nr. 582: 1,34Volt, 246 Ampere, 330 Watt

#Nr. 583: 1,31Volt, 236 Ampere, 309 Watt

Wiederaufladbare Baffled Boxen

2 Ladekappen

#Nr. 584: 1,67Volt, 264 Ampere, 441 Watt

#Nr. 585: 1,58Volt, 272 Ampere, 430 Watt

Wiederaufladbare Baffled Boxen

Seite (Horizontal) mit 2 Ladekappen

#Nr. 586: 1,62Volt, 271 Ampere, 439 Watt

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