FABMATE® E-Beam-Tiegel

Übersicht der FABMATE® Hochreinen Kohlenstofftiegel

FABMATE®-Tiegel aus 99,9995 % elementarem Kohlenstoff sind die beste Lösung für Hochleistungsanwendungen in der E-Beam-Verdampfung. Ihre außergewöhnliche Haltbarkeit, Säurebeständigkeit und thermische Stabilität machen sie zu einer überlegenen Alternative zu Quarz und anderen herkömmlichen Materialien.

Hauptmerkmale der FABMATE®-Tiegel

Hervorragende Säurebeständigkeit:
- Fluorwasserstoffsäure: Keine Erosion nach 15 einstündigen Eintauchzyklen in einer 10%igen Flusssäurelösung.
- Gemisch aus Salpeter- und Flusssäure: Keine Erosion nach 20 einstündigen Eintauchzyklen in einem 70%igen Säuregemisch.
Verbesserte Materialstärke:
FABMATE-Tiegel werden einer Reinigung, Präzisionsbearbeitung und einer proprietären Kohlenstoffmodifikationsbehandlung von Poco Graphite, Inc. unterzogen:
- Amorphe Kohlenstoffschichten in Porenoberflächen.
- Eine abriebfeste und nahezu partikelfreie Oberfläche.
Thermische Stabilität:
- Bleibt in inerten Atmosphären bis zu 2500°C stabil und gewährleistet eine gleichbleibende Leistung unter extremen Bedingungen.
Vielseitige Materialkompatibilität:
- Optimale Leistung: Kompatibel mit Ag, As, Au, Ga, GeO₂, Ni-Cr-Legierungen, Pb, Se, Sn, Te und TiO.
- Verlängert die Lebensdauer des Tiegels: Besonders wirksam bei der Al-Verdampfung.
- Single-Run-Anwendungen: Geeignet für Fe, Ni und Si in Einweg-Szenarien.
- Breite Kompatibilität: FABMATE kann mit allen Materialien umgehen, die von Standard-Graphit-Tiegeln unterstützt werden.
Verfügbarkeit der Modelle:
- FABMATE-Tiegel sind in den gleichen Modellen und Abmessungen wie Standard-Graphit-Tiegel erhältlich und lassen sich nahtlos in bestehende Systeme integrieren.

Hinweis: FABMATE ist ideal, um problematische Materialien wie Quarz in anspruchsvollen Anwendungen zu ersetzen.

FABMATE® E-Beam Crucibles

Model

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FABMATE® E-Beam Crucibles

Item No.	Angle	Drawings	Capacities (mL)	Diameter (mm/inch)	Height (mm/inch)	Thickness (mm/inch)	Inquiry
EVCFABEB-1	angle=30		1	19.1 (0.75")	4.1 (0.16")	1.0 (0.04")
EVCFABEB-1.5	angle=15		1	17.7 (0.70")	10.2 (0.40")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-2	angle=15		2	14.2 (0.56")	9.8 (0.38")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-2A	angle=15		2	17.9 (0.71")	11.8 (0.47")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-3	angle=15		3	20.4 (0.81")	13.8 (0.55")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-4	angle=15		4	22.0 (0.87")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-4A	angle=15		4	22.5 (0.89")	15.1 (0.60")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-4B	angle=15		4	21.5 (0.85")	17.5 (0.69")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-7	angle=15		7	29.6 (1.17")	14.3 (0.56")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-7A	angle=15		7	28.6 (1.13")	13.2 (0.52")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-10	angle=15		10	35.2 (1.38")	15.1 (0.59")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-12	angle=15		12	32.5 (1.28")	23.9 (0.94")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-12A	angle=15		12	34.3 (1.35")	17.3 (0.68")	3.2 (0.13")
EVCFABEB-12B	angle=15		12	33.9 (1.33")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-12C	angle=15		12	33.9 (1.33")	19.5 (0.77")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-15	angle=15		15	37.6 (1.48")	17.0 (0.67")	3.2 (0.13")
EVCFABEB-15A	angle=15		15	37.6 (1.48")	17.0 (0.67")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-16	angle=15		16	41.7 (1.64")	24.6 (0.97")	3.2 (0.13")
EVCFABEB-20	angle=15		20	42.5 (1.67")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-25	angle=15		25	47.0 (1.85")	17.3 (0.68")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-25A	angle=15		25	41.5 (1.63")	23.9 (0.94")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-30	angle=15		30	45.1 (1.78")	23.9 (0.94")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-30A	angle=15		30	48.8 (1.92")	20.6 (0.81")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-30B	angle=15		30	45.1 (1.78")	23.9 (0.94")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-35	angle=15		35	52.9 (2.08")	19.5 (0.77")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-40	angle=15		40	51.6 (2.03")	25.9 (1.02")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-40A	angle=15		40	51.6 (2.03")	25.9 (1.02")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-40B	angle=15		40	50.8 (2")	27.0 (1.06")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-40C	angle=15		40	50.8 (2")	27.0 (1.06")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-62	angle=15		62	56.2 (2.2")	35.6 (1.4")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-100	angle=15		100	68.6 (2.7")	37.8 (1.49")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-156	angle=15		156	82.6 (3.25")	38.9 (1.53")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-A	angle=15		N/A	23.8 (0.93")	15.1 (0.59")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-B	angle=15		N/A	75.2 (2.96")	39.7 (1.56")	2.4 (0.09")
EVCFABEB-C	angle=15		N/A	60.7 (2.39")	25.4 (1")	6.4 (0.25")
EVCFABEB-D	angle=15		N/A	48.0 (1.89")	17.8 (0.7")	3.2 (0.13")
EVCFABEB-E	angle=0		N/A	25.4 (1.00")	19.1 (0.75")	3.2 (0.13")
EVCFABEB-G	angle=14		N/A	19.8 (0.78")	11.1 (0.44")	1.6 (0.06")

Häufige Ursachen für Schmelztiegelbruch

Um die Lebensdauer der FABMATE-Tiegel zu verlängern, ist eine korrekte Handhabung und Einrichtung unerlässlich. Nachfolgend sind häufige Probleme und Lösungen aufgeführt:

1. Falsche Rampen-/Einweicheinstellungen

E-Beam-Verdampfungsrezepte beruhen auf sorgfältig kalibrierten Rampen-/Soak-Leistungsstufen:

Übergang der Leistungsregelung: Während der Abscheidung geht die Leistungsregelung von Rampen-/Soak-Einstellungen zu einer PID-Schleife über, die die Leistung der E-Gun und den Quarzkristallregler steuert.
- Unregelmäßige Leistungsschwankungen: Wenn die Leistungswerte von Rampe2/Soak2 nicht mit der erforderlichen Ablagerungsleistung (z. B. 1 Ångström/sec) übereinstimmen, kompensiert die PID-Schleife dies mit erheblichen Leistungsschwankungen (+90 % bis 0 %).
- Tiegelspannung: Diese Schwankungen führen zu schnellen Verflüssigungs- und Kondensationszyklen, die den Tiegel zerbrechen.
- Lösung: Stellen Sie die Werte für Rampe2/Soak2 nahe an der Abscheidungsleistung ein, um PID-Anpassungen zu minimieren und schnelle Phasenwechsel zu vermeiden.

2. Abruptes Abschalten der Stromversorgung

Ein unsachgemäßes Abschalten nach der Abscheidung kann ebenfalls zu Schäden an den Tiegeln führen:

Schnelle Erstarrung: Ein abruptes Abschalten der Stromzufuhr oder eine kurze Auslaufphase führt dazu, dass die Schmelze zu schnell erstarrt und die Tiegeleinlage belastet wird.
Vorbeugende Maßnahme: Fahren Sie die Leistung allmählich herunter, um eine gleichmäßige Abkühlung zu ermöglichen und die mechanische Belastung zu verringern.