Molybdän-Verdampfungen

Molybdän, das im Periodensystem zu den Übergangsmetallen gehört, hat ein metallisch graues Aussehen und verfügt über bemerkenswerte physikalische Eigenschaften. Mit einem Schmelzpunkt von 2.617°C, einer Dichte von 10,2 g/cc und einem Dampfdruck von ^10-4 Torr bei 2.117°C ist Molybdän für seine Robustheit bekannt. Aufgrund seiner Festigkeit und seines hohen Schmelzpunkts wird Molybdän überwiegend mit anderen Metallen legiert, um korrosionsbeständige Materialien herzustellen, die häufig in Werkzeugen, Flugzeugteilen und elektrischen Kontakten verwendet werden. In der Spitzentechnologie wird Molybdän unter Vakuumbedingungen aufgedampft und trägt so zur Herstellung von hochentwickelten Displays, Halbleitern und Sensoren bei.

Molybdän-Aufdampfmaterialien beziehen sich auf Substanzen, die hauptsächlich aus Molybdän bestehen und bei der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet werden. Bei der PVD werden dünne Filme oder Beschichtungen durch Verdampfung und Kondensation eines Materials auf Oberflächen aufgebracht. Molybdän ist ein Refraktärmetall, das für seinen hohen Schmelzpunkt, seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und seine Korrosionsbeständigkeit bekannt ist.

Bei der thermischen Verdampfung von Molybdän (Mo) geht es darum, einen Gleichgewichtsdampfdruck (EVP) von 10-2 Torr zu erreichen, der als optimal für eine schnelle Abscheidung in Systemen von Standardgröße gilt. Der Schlüsselfaktor, der den EVP beeinflusst, ist die Temperatur. Mit Hilfe von Tabellen oder Referenzen lässt sich die Temperatur bestimmen, die erforderlich ist, um den gewünschten EVP von ^10-2 Torr zu erreichen. Im Falle von Molybdän ist eine Temperatur von etwa 2.600 °C erforderlich, damit das Material einen Dampfdruck von ^10-2 Torr erreicht.

Die thermische Verdampfung von Molybdän stellt jedoch eine Herausforderung dar, da für ein effizientes Verdampfen des Materials viel Energie erforderlich ist. Daher werden alternative Methoden wie die Elektronenstrahlverdampfung oder das Magnetronsputtern für eine erfolgreiche Molybdänabscheidung empfohlen.