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Mit Aluminiumoxid beschichtete Verdampfungsquellen sind als Alternative zu Aluminiumoxidtiegeln für bestimmte Anwendungen konzipiert und bieten eine hervorragende Wärmeübertragung und Kompatibilität mit den meisten Metallen. Diese Quellen verhindern, dass der Verdampfer an der Tonerde anhaftet, und sorgen für einen stabilen Widerstand, wenn das Material zu einer kugelförmigen Punktquelle schmilzt, was die Lebensdauer verlängert. Beschichtete Quellen benötigen aufgrund der geringeren Wärmeleitung 30 bis 50 Prozent mehr Strom. Das im Plasmaspritzverfahren aufgebrachte Aluminiumoxid ist von Halbleiterqualität. Um eine Überhitzung zu vermeiden, ist es wichtig, Temperaturen über 1850 °C zu vermeiden und die Leistung während der Verdampfung zu reduzieren.
