Sources microélectroniques revêtues d’alumine

Les sources d’évaporation revêtues d’alumine sont conçues comme des alternatives aux creusets en alumine pour des applications spécifiques, offrant un excellent transfert de chaleur et une compatibilité avec la plupart des métaux. Ces sources empêchent l’évaporateur d’adhérer à l’alumine, maintenant une résistance stable lorsque le matériau fond en une source ponctuelle sphérique, ce qui prolonge la durée de vie. Les sources revêtues nécessitent 30 à 50 % d’énergie en plus en raison de la réduction de la conduction thermique. L’alumine, appliquée par pulvérisation plasma, est de qualité semi-conducteur. Pour éviter la surchauffe, il est essentiel d’éviter les températures supérieures à 1850°C et de réduire la puissance pendant l’évaporation.

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Bateaux
Couvertures de chauffage

Bateaux

Fossé rétréci

#082 : Le molybdène

Fossette

#083 : Molybdène

Fossette inversée

#084 : Le molybdène

Fossé inversé Top-Hat

#085 : Molybdène

Couvertures de chauffage

Chauffage de la boîte

#085 : Tantale recouvert d’alumine

Couvercle pour Box Heater #085

#086 : Tantale recouvert d’alumine

Chauffage de la boîte

#087 : Tantale recouvert d’alumine

Couvercle pour Box Heater #087

#088 : Tantale recouvert d’alumine

Chauffe-boîte

#089 : Tantale recouvert d’alumine

Couvercle pour Box Heater #089

#090 : Tantale recouvert d’alumine

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