Filaments microélectroniques en tungstène

Les filaments de tungstène sont couramment utilisés dans les systèmes de dépôt de couches minces sous vide poussé pour chauffer les substrats ou les creusets contenant le matériau à déposer. Le choix de la forme du filament et du nombre de fils dépend des exigences de surface du substrat et des caractéristiques du matériau à chauffer.

Quelques éléments clés à prendre en compte lors de la sélection d’un filament de tungstène :

• Diamètre du filament : Les filaments plus épais peuvent atteindre des températures plus élevées et sont plus robustes, tandis que les filaments plus fins sont plus flexibles et peuvent être enroulés dans des diamètres plus petits.
• Nombre de fils : Les filaments monofilaires sont simples et peu coûteux, tandis que les filaments multifilaires permettent un chauffage plus uniforme sur une plus grande surface.
• Forme du filament : Les filaments enroulés sont couramment utilisés car ils augmentent efficacement le diamètre global du filament, ce qui ralentit l’évaporation et augmente la durée de vie. Les filaments droits sont plus simples mais peuvent s’affaisser à des températures élevées.
• Taille du substrat : Le filament doit être adapté au diamètre du substrat. Les substrats plus grands nécessitent des filaments plus longs, tandis que les substrats plus petits permettent des diamètres de bobine plus serrés.
• Propriétés du matériau : Le filament doit pouvoir atteindre la température nécessaire à l’évaporation ou à la fusion du matériau source. Le tungstène est idéal en raison de son point de fusion élevé et de sa faible pression de vapeur à haute température.

En résumé, pour choisir le bon filament de tungstène, il faut équilibrer des facteurs tels que le coût, la taille, l’uniformité du chauffage et la durée de vie afin de répondre aux exigences spécifiques du processus de dépôt et du substrat. La consultation du fabricant du filament peut aider à sélectionner la configuration optimale.

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