Les sources micro-électroniques sont des versions plus petites de nos sources d’évaporation standard. Ces sources sont utilisées de préférence lorsque l’espace est limité ou pour les systèmes de faible puissance. Les réchauffeurs peuvent parfois être utilisés plusieurs fois pour chauffer le même matériau, mais l’évaporant “scelle” souvent le couvercle au corps, ce qui rend la séparation impossible et empêche donc de placer le matériau frais au bon endroit.