Graphit-E-Balken-Tiegel

Übersicht über Tiegel aus hochreinem Graphit für die E-Beam-Verdampfung

Tiegel aus hochreinem Graphit sind ein wesentlicher Bestandteil von E-Beam-Verdampfungssystemen und bieten eine hervorragende Leistung und Langlebigkeit. MetalsTek bietet Graphittiegel an, die die Abscheidungseffizienz verbessern und gleichbleibende Ergebnisse über mehrere Verdampfungszyklen hinweg gewährleisten.

Vorteile von Tiegeln aus hochreinem Graphit

  • Thermischer Wirkungsgrad:
    Graphittiegel wirken als effektive thermische Barriere zwischen der Schmelze und dem wassergekühlten Herd.

    • Verbesserte Ablagerungsraten: Die Abscheidungsraten können bei gleicher Leistung um bis zu 400 % höher sein als bei einem bloßen Herd.
    • Geringerer Strombedarf: Bei gleicher Abscheidungsrate kann der Stromverbrauch auf 25 % der Leistung des bloßen Herdes reduziert werden.
  • Reinheitsstandards:
    Jeder Tiegel wird einer strengen Reinigung unterzogen, um den hohen Reinheitsanforderungen zu genügen:

    • Wichtige Schadstoffe wie Fe, Si, Al und Mg werden auf weniger als 5 ppm reduziert.
    • Keine nachweisbaren Konzentrationen von 16 anderen gängigen Metallen, einschließlich Na, K und Pb, was eine saubere Verdampfung gewährleistet.
  • Langlebigkeit:
    Graphit-Tiegel sind so gebaut, dass sie bis zu 400 Verdampfungszyklen überstehen, was sie zu einer kosteneffizienten Wahl für hochvolumige Operationen macht.

  • Materialkompatibilität:
    Diese Tiegel sind mit einer Vielzahl von Materialien kompatibel, u. a:

    • Metalle: Cr, Cu, In, Mg, Mo, Pt, Ta, Ti, Zn
    • Legierungen: Al-Ge, Al-Si
    • Verbindungen: CdS, Na₃AlF₆, SiO₂, Y₂O₃
  • Anpassungsoptionen:

    • Höhere Tiegel fassen mehr Material, sind aber für Mehretagenöfen, die nicht für ihre Abmessungen ausgelegt sind, ungeeignet.
    • Das Modell EVCEB-2 verfügt über eine Oberlippe und hat die gleichen Abmessungen wie EVCEB-4.

Wichtiger Hinweis: Diese ultrafeinkörnigen Graphit-Tiegel mit hoher Dichte unterscheiden sich von “glasartigem” oder glasartigem Kohlenstoff, der oft schon nach einmaligem Gebrauch bricht.

Häufige Ursachen für Schmelztiegelbruch

Um die Lebensdauer Ihres Graphittiegels zu maximieren, ist es wichtig, diese allgemeinen Probleme zu vermeiden:
1. Falsche Rampen-/Einweicheinstellungen
E-Beam-Verdampfungsrezepte beruhen auf sorgfältig gesteuerten Rampen-/Soak-Leistungsstufen, um Materialien allmählich auf die gewünschte Abscheidungstemperatur zu erhitzen:
  • Übergang zur Leistungssteuerung: Während der Abscheidung wechselt die Steuerung von Rampen-/Soak-Einstellungen zu einer PID-Schleife. Dieser Regelkreis steuert die Stromversorgung der E-Gun und den Quarzkristallregler, um die Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten.
    • Schwankende Leistungsniveaus: Wenn die Ramp2/Soak2-Werte weit von der erforderlichen Abscheidungsleistung (z. B. 1 Ångström/sec) entfernt sind, kompensiert die PID-Schleife unregelmäßig, was zu Leistungsschwankungen zwischen +90 % und 0 % führt. Diese starken Schwankungen führen zu einer schnellen Verflüssigung und Kondensation des Materials, was den Tiegel belastet und zu Rissen führt.
    • Lösung: Stellen Sie sicher, dass die Ramp2/Soak2-Niveaus nahe am Niveau der Abscheidungsleistung liegen, um PID-Anpassungen zu reduzieren und schnelle Phasenwechsel zu verhindern.
2. Abrupte Stromabschaltungen
Eine unsachgemäße Handhabung des Netzteils nach der Abscheidung kann den Tiegel ebenfalls beschädigen:
  • Schnelle Abkühlung: Ein abruptes Abschalten der Stromversorgung oder eine kurze Abkühlphase führt zu einer schnellen Erstarrung der Schmelze. Diese schnelle Erstarrung führt zu einer mechanischen Belastung des Tiegels, die zum Bruch führen kann.
    • Vorbeugende Maßnahme: Führen Sie einen allmählichen Abkühlungsprozess ein, um eine gleichmäßige Abkühlung zu ermöglichen und die Belastung der Tiegelauskleidung zu verringern.

Graphite E Beam Crucibles

Item No. Angle Drawing Capacities (mL) Top Diameter A (mm/inch) Height B (mm/inch) Wall Thickness C (mm/inch) Inquiry
EVCEB-1 angle=30 View Drawing
1 19.1 (0.75") 4.1 (0.16") 1.0 (0.04")
EVCEB-1A angle=15 View Drawing
1 14.2 (0.56") 9.8 (0.38") 2.4 (0.09")
EVCEB-2 angle=15 View Drawing
2 17.9 (0.71") 11.8 (0.47") 2.4 (0.09")
EVCEB-3 angle=15 View Drawing
3 20.4 (0.81") 13.8 (0.55") 2.4 (0.09")
EVCEB-4 angle=15 View Drawing
4 22.0 (0.87") 14.3 (0.56") 2.4 (0.09")
EVCEB-4A angle=15 View Drawing
4 22.5 (0.89") 15.1 (0.60") 2.4 (0.09")
EVCEB-7 angle=15 View Drawing
7 29.6 (1.17") 14.3 (0.56") 2.4 (0.09")
EVCEB-7A angle=15 View Drawing
7 28.6 (1.13") 13.2 (0.52") 2.4 (0.09")
EVCEB-10 angle=15 View Drawing
10 35.2 (1.38") 15.1 (0.59") 2.4 (0.09")
EVCEB-12 angle=15 View Drawing
12 32.5 (1.28") 23.9 (0.94") 2.4 (0.09")
EVCEB-12A angle=15 View Drawing
12 34.3 (1.35") 17.. (0.68") 3.2 (0.13")
EVCEB-12B angle=15 View Drawing
12 33.9 (1.33") 19.5 (0.77") 2.4 (0.09")
EVCEB-15 angle=15 View Drawing
15 37.6 (1.48") 17.0 (0.67") 3.2 (0.13")
EVCEB-15A angle=15 View Drawing
15 37.6 (1.48") 17.0 (0.67") 6.4 (0.25")
EVCEB-16 angle=15 View Drawing
16 41.7 (1.64") 24.6 (0.97") 3.2 (0.13")
EVCEB-20 angle=15 View Drawing
20 42.5 (1.67") 19.5 (0.77") 2.4 (0.09")
EVCEB-25 angle=15 View Drawing
25 47.0 (1.85") 17.3 (0.68") 2.4 (0.09")
EVCEB-25A angle=15 View Drawing
25 41.5 (1.63") 23.9 (0.94") 2.4 (0.09")
EVCEB-25B angle=15 View Drawing
25 47.0 (1.85") 17.3 (0.68") 3.2 (0.13")
EVCEB-25C angle=15 View Drawing
25 41.5 (1.63") 23.9 (0.94") 3.2 (0.13")
EVCEB-30 angle=15 View Drawing
30 45.1 (1.78") 23.9 (0.94") 2.4 (0.09")
EVCEB-30A angle=15 View Drawing
30 45.1 (1.78") 23.9 (0.94") 6.4 (0.25")
EVCEB-30B angle=15 View Drawing
30 48.8 (1.92") 20.6 (0.81") 2.4 (0.09")
EVCEB-35 angle=15 View Drawing
35 52.9 (2.08") 19.5 (0.77") 2.4 (0.09")
EVCEB-40 angle=15 View Drawing
40 51.6 (2.03") 25.9 (1.02") 2.4 (0.09")
EVCEB-40A angle=15 View Drawing
40 51.6 (2.03") 25.9 (1.02") 6.4 (0.25")
EVCEB-40B angle=15 View Drawing
40 50.8 (2") 27.0 (1.06") 2.4 (0.09")
EVCEB-40C angle=15 View Drawing
40 50.8 (2") 27.0 (1.06") 6.4 (0.25")
EVCEB-62 angle=15 View Drawing
62 56.2 (2.2") 35.6 (1.4") 2.4 (0.09")
EVCEB-62 angle=15 View Drawing
100 68.6 (2.7") 37.8 (1.49") 2.4 (0.09")
EVCEB-156 angle=15 View Drawing
156 82.6 (3.25") 38.9 (1.53") 6.4 (0.25")
EVCEB-A angle=15 View Drawing
N/A 23.8 (0.93") 15.1 (0.59") 2.4 (0.09")
EVCEB-B angle=15 View Drawing
N/A 75.2 (2.96") 39.7 (1.56") 2.4 (0.09")
EVCEB-C angle=15 View Drawing
N/A 60.7 (2.39") 25.4 (1") 6.4 (0.25")
EVCEB-D angle=15 View Drawing
N/A 48.0 (1.89") 17.8 (0.7") 3.2 (0.13")

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