Die Kupfer-Trägerplatten werden aus sauerstofffreiem, hochleitfähigem Kupfer (OFHC-Kupfer) hergestellt.
Für normale, runde, scheibenförmige Sputterquellen – TORUS® 2, 3 und 4 akzeptieren eine 0,092″ dicke Trägerplatte, die Sie in der Liste unten finden.
Die meisten Sputterquellen nehmen ein 0,125″ (1/8″) dickes Target auf, das auf eine 0,125″ dicke Trägerplatte geklebt ist.
Für Scheiben mit anderen Dicken wählen Sie die Dicke der Trägerplatte, um die Gesamtdicke auf 0,250″ (1/4″) einzustellen, die für die meisten Anwendungen geeignet ist.
HINWEIS:
Die in der Tabelle durch Durchmesser und Dicke gekennzeichneten Scheiben sind glatte Scheiben ohne Durchgangs- oder Gewindebohrungen.
MetalsTek kann die Kupfer-Trägerplatten nach Wunsch bearbeiten.
Sie eignen sich für die meisten kreisförmigen oder rechteckigen Zielquellen anderer Hersteller, auch wenn sie für Schrauben, Klemmen usw. eventuell geringfügig bearbeitet werden müssen.
Kupferbecher-Stützteller sind auf Anfrage erhältlich.
Kupfer-Stützplatte Liste
Form
Hinterlegplatte Größe
Teil Nr.
Letzter Preis
Kreisförmig
1.0″ x 0.0625″
TBPCU01A1
1.0″ x 0.125″
TBPCU01A2
1,3″ x 0,125″ (mit Magnethalterung)
TBPCU01.3K+
2.0″ x 0.0625″
TBPCU02A1
2.0″ x 0.125″
TBPCU02A2
2,0″ x 0,125″ (mit Magnethalterung)
TBPCU02K2
2,00″ x 0,092″ (für Torus 2)
TBPCU02T2
3.0″ x 0.0625″
TBPCU03A1
3.0″ x 0.125″
TBPCU03A2
3,0″ x 0,125″ (mit Magnethalterung)
TBPCU03K2
3,00″ x 0,092″ (für Torus 3)
TBPCU03T2
4.0″ x 0.0625″
TBPCU04A1
4.0″ x 0.125″
TBPCU04A2
4,00″ x 0,092″ (für Torus 4)
TBPCU04T2
5.0″ x 0.0625″
TBPCU05A1
5.0″ x 0.125″
TBPCU05A2
6.0″ x 0.0625″
TBPCU06A1
6.0″ x 0.125″
TBPCU06A2
6,0″ x 0,125″ (mit magnetischer Halterung)
TBPCU06K2
6.0″ x 0.250″
TBPCU06A4
7.0″ x 0.125″
TBPCU07A2
7.0″ x 0.250″
TBPCU07A4
8.0″ x 0.125″
TBPCU08A2
8.0″ x 0.250″
TBPCU08A4
TORUS 10 Voll (6,375″ x 0,50″)
TBPT10FULL
Rechteckig
Maßgeschneiderte Größe
TBPCUREC
Tasse
Maßgeschneiderte Größe
TBPCUCUP
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