Die Kupfer-Trägerplatten werden aus sauerstofffreiem, hochleitfähigem Kupfer (OFHC-Kupfer) hergestellt.
Für normale, runde, scheibenförmige Sputterquellen – TORUS® 2, 3 und 4 akzeptieren eine 0,092″ dicke Trägerplatte, die Sie in der Liste unten finden.
Die meisten Sputterquellen nehmen ein 0,125″ (1/8″) dickes Target auf, das auf eine 0,125″ dicke Trägerplatte geklebt ist.
Für Scheiben mit anderen Dicken wählen Sie die Dicke der Trägerplatte, um die Gesamtdicke auf 0,250″ (1/4″) einzustellen, die für die meisten Anwendungen geeignet ist.
HINWEIS:
Die in der Tabelle durch Durchmesser und Dicke gekennzeichneten Scheiben sind glatte Scheiben ohne Durchgangs- oder Gewindebohrungen.
MetalsTek kann die Kupfer-Trägerplatten nach Wunsch bearbeiten.
Sie eignen sich für die meisten kreisförmigen oder rechteckigen Zielquellen anderer Hersteller, auch wenn sie für Schrauben, Klemmen usw. eventuell geringfügig bearbeitet werden müssen.
Kupferbecher-Stützteller sind auf Anfrage erhältlich.